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H40.XYT2S/K系列大负载压电快反镜/偏转镜可带载镜片进行X、Y、θx、θy四维直线/偏摆运动，带载负载重量可达5kg。其直线行程达33μm/轴，直线分辨率达4nm，偏转行程2.5mrad/轴，偏转分辨率达0.2μrad。闭环版本传感器使用全桥配置以消除热漂移，可实现较高的线性度和重复度，适用于大负载的光学应用领域。
产品特点
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 偏摆行程可达2.5mrad/轴，分辨率可达0.2μrad
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配套控制器  E00.D5K01
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环
尾缀K-开环
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H40.XYT2S
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H40.XYT2K
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单位 |
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运动自由度 |
X、Y、θx、θy |
X、Y、θx、θy |
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驱动控制 |
5 路驱动，4路传感 |
5 路驱动 |
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| 标称直线行程范围（0~120V） | 26 | 26 |
μm±10% |
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Max.直线行程范围（0~150V） |
33 | 33 |
μm±10% |
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标称偏转范围（0~120V） |
±1（≈±206秒） |
±1（≈±206秒） |
mrad±10% |
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Max.行程范围（0~120V） |
±1.25（≈±257秒） |
±1.25（≈±257秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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| 直线分辨率 | 12 | 4 | nm | |
| 偏转分辨率 |
0.5（≈0.1秒） |
0.2（≈0.04秒） |
μrad |
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直线闭环线性度 |
X0.22/Y0.05 |
- |
%F.S. |
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偏转闭环线性度 |
θx0.2/θy0.28 |
- |
%F.S. |
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直线闭环重复定位精度 |
X0.1/Y0.06 |
- |
%F.S. |
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偏转闭环重复定位精度 |
θx0.06/θy0.07 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X525/Y629/θx5744/θy4064 |
X525/Y629/θx5744/θy4064 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@5kg |
X215/Y230/θx41/θy40 |
X215/Y230/θx41/θy40 |
Hz±20% |
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| 阶跃时间 |
XY50/θxθy150@5kg、1Hz |
- |
ms±10% |
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静电容量 |
XY3.8/θxθy3.6 |
XY3.8/θxθy3.6 |
μF±10% |
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| 承载能力 | 水平方向 | 5 | 5 | kg |
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材料 |
不锈钢、铝合金、钛合金 |
不锈钢、铝合金、钛合金 |
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重量（不含线） |
950 |
950 |
g±5% |
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应用案例
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跟踪、稳像 
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笼式结构 
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快速激光束偏转及扫描 
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变形镜 
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激光稳定系统 
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激光加工 
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