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产品特点
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| 技术参数 | ||
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型号 |
S33.T1SYH |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
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标称偏转范围（0~100V） |
1或±0.5（≈±103秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转范围（0~120V） |
1.3或±0.65（≈±134秒） |
mrad±10% |
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传感器 |
SGS |
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分辨率 |
0.03（＜0.01秒） |
μrad |
| 闭环线性度 | 0.3 |
%F.S. |
| 闭环重复定位精度 | 0.1 |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
7 |
kHz±20% |
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静电容量 |
1.6/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铜 |
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重量（包含线） |
52 |
g±5% |
