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压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有较好的运动精度和高稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P32系列Z向/俯仰/偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度，响应时间可达毫秒量级。P32.ZT6S/KY可实现11mrad偏转，Z轴55μm的直线运动。
产品特点
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运动方式 
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偏转角度测量 
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定制一体化压电偏转系统 
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高分辨率、高稳定性及动态性
P32压电偏转镜体积紧凑，内部装配带有预紧的高可靠性压电促动器，集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电促动器是叠堆共烧型压电陶瓷，比传统的压电促动器提供好的性能及可靠性。 |
结构原理 P32偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的，由三支压电陶瓷驱动，以120°角平分放置，采用坐标变换，运动可以分不同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜，也可实现平台Z向的直线移动，可以用于校正光学路径长度。其中， A、B、C表示测量的3点处位移量，两轴摆角及Z向位移的简便计算公式分别如下， 
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产品应用
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| 技术参数 | |||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P32.ZT6SY |
P32.ZT6KY |
P32.ZT8SY P32.ZT8KY |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θx,θy,Z |
θx,θy,Z |
θx,θy,Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
3路驱动，3路传感 |
mrad±10% |
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标称偏转角度（0~+120V） |
9（≈ 1854 秒） |
9（≈ 1854 秒） |
12（≈2475 秒） |
mrad±10% |
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Z向标称行程（0~+120V） |
45 |
45 |
60 |
µm±10% |
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θx, θy Max.偏转角度（0~+150V） |
11（≈ 2268 秒） |
11（≈ 2268 秒） |
15（≈ 3093 秒） |
mrad±10% |
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Z向 Max.行程（0~+150V） |
55 |
55 |
75 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
SGS/- |
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闭/开环θx,θy偏转分辨率 |
0.3（≈ 0.06 秒） |
0.1（≈ 0.02 秒） |
0.4（≈0.08秒） /0.2（≈0.04秒） |
µrad |
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闭/开环Z向直线分辨率 |
1.5 |
0.5 |
2/1 |
nm |
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闭环线性度 |
θx θy：0.2 Z：0.5 |
- |
0.5/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度(θx, θy) |
θx θy：0.2 Z：0.5 |
- |
0.3/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
4(2@Φ30x6mm 镜片 ) |
4(2@Φ30x6mm 镜片 ) |
2.5 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10 |
5 |
15/8 |
ms±20% |
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静电容量 |
5.4 |
5.4 |
7.2/ 轴 |
μF/轴±20% |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢 |
钢 |
钢 |
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重量 |
350 |
350 |
400 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
*** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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跟踪、稳像 
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笼式结构 
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快速激光束偏转及扫描 
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变形镜 
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激光稳定系统 
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激光加工 
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