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XD304 系列小体积压电偏转镜是专为小体积、小行程、高频率应 用而设计，它可进行 θxθy 二维精密角度偏转运动，是一款理想 的小体积快反镜，非常适于小型反射镜片的偏转调整。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
XD304.T1S XD304.T1K |
XD304.T2S XD304.T2K |
单位 |
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运动方向 |
θX/θY |
θX/θY |
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驱动控制 |
3 路驱动，2路传感 |
3 路驱动，2路传感 |
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标称偏转范围（0~100V） |
1或±0.5（≈±103秒） |
2或±1（≈±206秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转范围（0~120V） |
1.2或±0.6（≈±123秒） |
2.4或±1.2（≈±247秒） |
mrad±10% |
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闭 / 开环分辨率 |
0.03（<0.01秒）/0.01（<0.01秒） |
0.07（≈0.01秒）/0.02（<0.01秒） |
μrad |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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外形尺寸 |
Φ25×22 |
Φ25×31 |
mm |
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空载谐振频率 |
15 |
10 |
KHz±20% |
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带载谐振频率
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11.6 |
4.2 |
KHz±20% |
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静电容量 |
0.8/ 轴 |
1.6/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钛合金、钢 |
钛合金、钢 |
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重量（不含线） |
40 |
70 |
g±5% |
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出线位置 |
侧出线 |
侧出线 |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
应用案例
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跟踪、稳像 
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笼式结构 
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快速激光束偏转及扫描 
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变形镜 
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激光稳定系统 
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激光加工 
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