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产品特点


 运动自由度 X

 标称行程范围(0~120V)22μm

 开环分辨率0.5nm

 静电容量7.2μF

    技术参数

型号

P92.X25S

P92.X25K

单位

运动自由度

X

X

驱动控制

1路驱动,1路传感

1路驱动


标称行程范围(0~120V)

22

22

μm±10%

行程范围(0~150V)

28

28

μm±10%

传感器类型

SGS

-

分辨率

1

0.5

nm

空载谐振频率

5000

5000

Hz±20%

开环阶跃时间

0.3

0.3

ms

运动方向刚度

50

50

N/μm±20%

出力

1000

1000

N

静电容量

7.2

7.2

μF±10%

台体材料

铝、钢

铝、钢

重量

1080

1080

g±5%

使用温度

-25~+80,超过100℃,PZT性能会降低,超过居里温度压电陶瓷将永久退极化


推荐控制器


E01.D1闭环压电控制器

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参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


快刀伺服超精密微加工系统


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