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三维 XYZ 压电平台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
产品特点
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P13.XY50Z7S P13.XY50Z7K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
X34/Y34/Z6 |
μm±20% |
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行程范围上限（0~150V） |
X43/Y43/Z8 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
XY1.5/0.5 ，Z0.5/0.1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
- |
μrad |
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推/拉力 |
- |
N |
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运动方向刚度 |
- |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.55/Y0.52/Z8.7 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30/3 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.8 |
kg |
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静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
200 |
g±5% |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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