- 产品介绍
- 意见反馈
XD810三维抑振平台的内部分为起振结构与减震（阻振）结构，通过控制起振结构进行振动及位移输出，再通过算法控制阻振结构进行反向抑制振动及位移输出，从而实现抑制振动的目的。
|
原理 闭环多维振动系统的基本控制原理框图如下所示。 
|
XD810控制通道示意图 
|
推荐控制器 
|
| 技术参数 | ||
|
型号 |
XD810参数 |
|
|
性能 |
起振结构 |
减震结构 |
|
XY行程 |
28um±20% |
28um±20% |
|
Z行程 |
15um±20% |
15um±10% |
|
X固有频率 |
500Hz±20% |
500Hz±20% |
|
Y固有频率 |
450Hz±20% |
400Hz±20% |
|
Z固有频率 |
400Hz±20% |
240Hz±20% |
|
使用频率上限 |
20Hz±20% |
20Hz±20% |
|
XY静电容量 |
7.2μF/轴±20% |
7.2μF/轴±20% |
|
Z静电容量 |
5.7μF±20% |
3.6μF±20% |
应用案例
|
硬盘测试 
|
显微镜探针校准 
|
迈克尔逊干涉仪 
|
