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XD611.XYZ500 压电纳米定位台是一款三维运动的压电平 台，行程可高达 500μm，适用于小型样品的三维纳米定位应用。
产品特点
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运动方向 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
XD611.XYZ500S |
XD611.XYZ500K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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标称行程（0~120V） |
400/ 轴 |
400/ 轴 |
µm±20% |
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Max.行程范围（0~150V） |
500/ 轴 |
500/ 轴 |
µm±20% |
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传感器类型 |
SGS，全闭环 |
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分辨率 |
18 |
7 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
kHz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.2 |
0.2 |
kg |
| 立式安装 | 0.02 | 0.02 | ||
| 倒置安装 | 0.02 | 0.02 | ||
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静电容量 |
14.4/ 轴 |
14.4/ 轴 |
μF±20% |
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重量（含线） |
850 |
850 |
g±5% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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