XD611.XYZ500 压电纳米定位台是一款三维运动的压电平 台,行程可高达 500μm,适用于小型样品的三维纳米定位应用。
产品特点
三维运动 |
可选配闭环传感器 |
大行程 |
纳米级分辨率 |
高精度 |
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运动方向 |
产品应用
显微成像 |
纳米定位 |
生物技术 |
半导体技术 |
精密定位 |
微操作 |
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技术参数 | |||
型号 |
XD611.XYZ500S |
XD611.XYZ500K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动,3路传感 |
3路驱动 |
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标称行程(0~120V) |
400/ 轴 |
400/ 轴 |
µm±20% |
行程范围(0~150V) |
500/ 轴 |
500/ 轴 |
µm±20% |
传感器类型 |
SGS,全闭环 |
- |
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分辨率 |
18 |
7 |
nm |
闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
kHz±20% |
承载能力 |
0.2 |
0.2 |
kg |
静电容量 |
14.4/ 轴 |
14.4/ 轴 |
μF±20% |
重量(含线) |
850 |
850 |
g±5% |
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |