- 产品介绍
- 应用
- 意见反馈
XD731.XYZ100大负载压电纳米定位台是专为真空应用环境而设计，它的真空兼容度可达 10^-7mbar。
产品特点
|
|
|
|
|
|
运动方向 
|
产品应用
|
|
|
|
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
XD731.XYZ100S |
XD731.XYZ100K |
单位 |
|
|
运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
|
|
|
驱动行程 |
4路驱动，3路传感 |
4路驱动 |
|
|
|
标称行程（0~120V） |
80/轴 |
80/轴 |
μm±10% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
100/轴 |
100/轴 |
μm±10% |
|
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
|
闭/开环分辨率 |
3 |
1 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.07 |
- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
≤35 |
≤35 |
μrad |
|
|
推/拉力 |
50/15 |
50/15 |
N |
|
|
运动方向刚度 |
1.5/1.5/0.9 |
1.5/1.5/0.9 |
N/μm±20% |
|
|
空载谐振频率 |
400 |
400 |
Hz±20% |
|
|
带载250g谐振频率 |
150 |
150 |
Hz±20% |
|
|
空载阶跃时间 |
20 |
<20 |
ms±20% |
|
|
加载250g负载阶跃时间 |
30 |
- |
ms±20% |
|
|
承载能力 |
水平安装 |
0.5 |
0.5 |
kg |
| 立式安装 | 0.2 | 0.2 | ||
| 倒置安装 | 0.4 | 0.4 | ||
|
静电容量 |
7.2/轴 |
7.2/轴 |
μF±20% |
|
|
台体材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
台体质量 |
680 |
680 |
g±5% |
|
|
使用环境真空度 |
真空10E-7 |
真空10E-7 |
mbar |
|
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
应用案例
|
硬盘测试 
|
显微镜探针校准 
|
迈克尔逊干涉仪 
|
