XD731.XYZ100S/K 系列真空三维压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 三维压电纳米定位台>>XD731.XYZ100S/K 系列真空三维压电纳米定位台
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XD731 系列三维压电纳米定位台是专为真空应用环境而设 计,它的真空兼容度可达 10^-7mbar。


产品特点


 三维 XYZ 运动

 真空兼容

 外形紧凑

 可选配闭环传感器


运动方向


产品应用


 真空环境三维快速扫描

 纳米定位

 生物技术

 量子测量

    技术参数

型号

XD731.XYZ100S

XD731.XYZ100K

单位

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

 

驱动行程

4路驱动,3路传感

4路驱动

标称行程(0~120V)

80/轴

80/轴

μm±10%

行程范围(0~150V)

100/轴

100/轴

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

/开环分辨率

3

1

nm

闭环线性度

0.07

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.03

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

≤35

≤35

μrad

/拉力

50/15

50/15

N

运动方向刚度

1.5/1.5/0.9

1.5/1.5/0.9

N/μm±20%

空载谐振频率

400

400

Hz±20%

带载250g谐振频率

150

150

Hz±20%

空载阶跃时间

20

<20

ms±20%

加载250g负载阶跃时间

30

-

ms±20%

承载能力

0.5

0.5

kg

静电容量

7.2/轴

7.2/轴

μF±20%

台体材质

钢、铝

钢、铝

 

台体质量

680

680

g±5%

使用环境真空度

真空10E-7

真空10E-7

mbar

注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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迈克尔逊干涉仪


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