XD731 系列三维压电纳米定位台是专为真空应用环境而设 计,它的真空兼容度可达 10^-7mbar。
产品特点
三维 XYZ 运动 |
真空兼容 |
外形紧凑 |
可选配闭环传感器 |
运动方向 |
产品应用
真空环境三维快速扫描 |
纳米定位 |
生物技术 |
量子测量 |
技术参数 | |||
型号 |
XD731.XYZ100S |
XD731.XYZ100K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动行程 |
4路驱动,3路传感 |
4路驱动 |
|
标称行程(0~120V) |
80/轴 |
80/轴 |
μm±10% |
行程范围(0~150V) |
100/轴 |
100/轴 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
|
闭/开环分辨率 |
3 |
1 |
nm |
闭环线性度 |
0.07 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
俯仰/偏航/滚动 |
≤35 |
≤35 |
μrad |
推/拉力 |
50/15 |
50/15 |
N |
运动方向刚度 |
1.5/1.5/0.9 |
1.5/1.5/0.9 |
N/μm±20% |
空载谐振频率 |
400 |
400 |
Hz±20% |
带载250g谐振频率 |
150 |
150 |
Hz±20% |
空载阶跃时间 |
20 |
<20 |
ms±20% |
加载250g负载阶跃时间 |
30 |
- |
ms±20% |
承载能力 |
0.5 |
0.5 |
kg |
静电容量 |
7.2/轴 |
7.2/轴 |
μF±20% |
台体材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
台体质量 |
680 |
680 |
g±5% |
使用环境真空度 |
真空10E-7 |
真空10E-7 |
mbar |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |