产品特点
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技术参数 | ||
编号 |
17061 |
单位 |
运动自由度 |
Z |
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标称行程范围 (0 ~+120 V) |
640 |
μm±20% |
行程范围 (0~+150 V) |
800 |
μm±20% |
传感器类型 |
SGS |
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闭/开环分辨率 |
24/6 |
nm |
闭环线性度 |
0.2 |
%F.S. |
重复定位精度 |
0.1 |
%F.S. |
空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
承载能力 |
1 |
kg |
静电容量 |
15 |
μF±20% |
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应用案例
硬盘测试 ![]() |
显微镜探针校准 ![]() |
迈克尔逊干涉仪 ![]() |