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P60.X200系列高精度一维压电纳米定位台应用于光学测量

更新时间：2024-08-08 13:51:09点击次数：1007次

光学测量是利用光的性质如光的传播、反射、折射、干涉、衍射等，进行长度、形状、角度、颜色等精确测量的非接触式测量技术，在工业、医疗、航空航天等领域获得广泛的应用。随着技术的不断进步与革新，光学测量技术在向更高精度、更高效的方向发展，芯明天纳米定位台以其高精度和快速的响应速度特点，在光学测量技术中提供纳米级精密定位，可使测量结果更精确。

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注：图片来源于网络

P60.X200系列高精度一维压电纳米定位台

P60.X200系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，可产生一维X轴直线运动，位移可达200μm，分辨率可达2nm，承载可达1.3kg，开环状态下，空载阶跃时间可达30ms，可配置闭环传感实现高精度扫描与定位。P60.X200系列压电纳米定位台为一维X向运动平台，可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。产品外观如下所示。
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产品特点



一维X向运动，行程可达200μm
承载可达1.3kg
分辨率可达2nm
开/闭环可选，真空版本可选
可组多维使用

产品应用



光学测量
光学检测
显微扫描
激光干涉
生物科技

技术参数



型号
P60.X200S/K
运动自由度
X
驱动控制
1路驱动，1路传感/1路驱动
标称行程范围（0~120V）
160μm
行程范围（0~150V）
200μm
传感器类型
SGS/-
闭/开环分辨率
7nm/2nm
闭环线性度
0.02%F.S./-
闭环重复定位精度
0.01%F.S./-
俯仰/偏航/滚动
＜15μrad
闭/开环空载阶跃时间
50ms@20μm、1300g / 30ms
空载谐振频率
370Hz
带载谐振频率@1300g
120Hz
静电容量
10.8μF
工作温度范围
-20~80℃
承载能力
1300g
材料
不锈钢、铝合金
重量
630g

配套控制器



E53.D系列压电控制器非常适用于驱动P60.X200系列压电纳米定位台。E53.D系列是针对小体积应用要求而设计的单通道控制器，体积小巧，外形尺寸仅为148×27.5×80mm^3，重量为350g，供电电压24VDC/1A。机身带有散热区域，可迅速导出产生的热量，上位机软件支持二次开发，体积小巧，易于集成。
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