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中空式压电宏微复合平台,XY宏动Z向微动,适于笼式结构!
更新时间:2022-03-23 15:44:21点击次数:2759次
随着压电应用技术的进步与发展,研究人员已经不再满足于微小位移、高精度的场景需求,带有高精度的更大的位移行程需求不断提出。此类压电产品也随着压电技术的发展进步应运而生。芯明天XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台,采用压电粘滑原理与压电微动技术相结合的方式,满足XY轴mm级大行程,并且实现Z轴nm级的高精度。
特 点
XY宏动毫米行程,适于镜头等位置横向调整
Z向微动微米行程,适于光学聚焦调整
Φ35mm中心通孔,适于透射光应用
电压驱动控制,速度快,操作便捷
宏微复合
XYZ72SN81K13系列运动平台,采用宏微复合的方式,将压电粘滑原理与压电微动技术完美结合,可实现XY轴的大行程宏动,行程可达±5mm/轴;Z轴进行微动调节,行程可达8μm。
• XY毫米行程运动,压电螺钉驱动
XY轴采用芯明天设计生产的压电螺钉来驱动,它利用粘滑原理,具有行程大、精度高等特点。再结合中空式滑动平台,将压电螺钉的直线运动转换至滑动平台的XY轴运动。
• Z向微米行程运动,压电直驱结构
Z轴采用PZT压电直驱结构,提供微米级行程、纳米级精度。驱动电压与运动行程成线性关系。
配备笼式结构安装孔位
XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台是专为笼式结构中的应用而设计,结构中配备了笼式结构安装通孔,可直接集成到笼式结构中。它可用于带载任何光学元件,例如在笼式结构中带载透镜,XY向的运动调整可精确控制透镜焦点在平面内的中心位置,而Z向的微运动可对焦点在光轴上的位置进行精确的纳米级微调整。
XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台采用φ35mm的通光孔径结构,适合于光学应用。
Z向微动位移与电压曲线
不同于XY向的驱动原理,Z向驱动时,产生的位移与驱动电压成线性关系。
技术参数
型号:XYZ72SN81K13
运动自由度:XYZ
XY宏动行程:±5mm/轴
Z向微调行程:8μm@150V
XY最小位移增量:<30nm
Z向闭/开环分辨率:0.3/0.1nm
Z向微调传感器:SGS
Z向空载谐振频率:2.5kHz
承载能力:正立500g/侧放200g
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