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压电位移台简介!
更新时间:2020-04-20 09:31:13点击次数:1971次
以P11型号为例,简介压电位移台。
P11
系列压电位移台包含多种型号,
1
至
3
维运动版本可选,行程由
100
μ
m
至
300
μ
m
可选。
从外观上,
P1
1
系列具有两种外形,两种外形的长宽相同,都为
40
×
40mm
,只因行程大小不同或维度不同,相应的外形的高度有所差别,分
22mm
和
36.5mm
两种。
P11系列压电位移台的单轴运动版本,行程可高达300μm,二维或三维版本标准行程为100μm/轴。它是采用机构放大的原理,将内部压电陶瓷驱动源产生的位移进行放大输出,位移放大后,承载能力相应减小,但P11三维版本的承载能力仍可达600g。
开/闭环版本
P11系列压电位移台
也分为开环与闭环版本,相比之下,闭环版本内部增配了闭环传感器,用于检测位移台本身实际产生的位移量。从位移台的引线连接器上可区分出开闭环。例如,对于标准的压电位移台,一般配备的是LEMO连接器,若位移台的连接器具有两种,如下图所示,具有单芯和四芯两种LEMO连接器,那么该压电位移台为闭环版本,若只有一种单芯LEMO连接器,则为开环版本。
此外,也可以根据单芯LEMO连接器的数量判断压电位移台的运动维度,1个为1个维度运动,2个为2个运动维度,依次类推。
以上该方法仅适用于LEMO连接器形式压电位移台开闭环的辨别方法。
安装固定
为了便于负载的机械连接,在P11的运动台面上设计有四个M3螺纹孔,为使用者提供固定接口。
另外,在
P11
系列压电
位移台的四个边角,有四个
Ø2.7mm
的通孔,用于压电位移台的固定。
在安装使用中,务必保证压电位移台运动面与非运动基座间的间隙清洁,且不可在此间隙间放置任何阻碍位移台运动的薄片、胶液等,这些会导致压电位移台的位移量减少或不输出。
应用
压电位移台的特点是纳米级高分辨率及精度、毫秒至亚毫秒级快响应速度、简便的控制方式、低成本等,因此具有非常广泛的应用领域,如显微成像、激光加工(晶圆切割)、微纳车削加工、图像分辨率增强、光学检测移相器等快速微纳致动应用。
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