特点
XYZ三维直线运动
XY行程500μm,Z向行程800μm
适用于物镜的三维定位调节
可定制真空版本
开闭环曲线
技术参数
型号:P12.XY500Z800
运动自由度:XYZ
XY轴行程范围(0~150V):500μm/轴
Z轴行程范围(0~150V):800μm
闭环传感器类型:SGS
XY轴闭/开环分辨率:20/5nm
Z轴闭/开环分辨率:30/8nm
XY轴静电容量:28.8μF/轴
Z轴静电容量:43.2μF
承载能力:250g
重量:1000g(不含线)