柔性铰链机构
1. 通常柔性铰链反弹和摩擦的影响可以忽略不计，但是在纳米定位要求中却是相当重要而不可忽略。纳米定位台采用的是柔性铰链机构以及机械放大机构的弹性形变。下图是柔性铰链在压电机构中的应用，实现高分辨率以及大位移行程。放大机构和弹性负载机构可以实现超低的倾斜确保直线性。
2. 压电平移台的主要部件由铝合金，不锈钢和殷钢制成。
1）我们的主要铝合金是轻质和高强度超硬铝。它适用于高速驱动工作与减轻重量的应用。此外，由于其优异的可加
工性，这种材料有助于以相对较低的成本制造压电平台。 这是我们常用的材料。
2）我们的主要钢材是具有更高屈服点的预硬化钢。由于该材料的杨氏模量是铝合金的3倍，可以生产不同体积的高刚性压电平台。
3）除了常规的殷钢材料之外，还使用具有更低的热膨胀率的超殷钢材料。由于热膨胀率低，它们特别用于降低温度变化的影响。除了上述那些之外的材料和表面处理也是可用的。
