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XD110.Z50系列高分辨率压电纳米定位台是一维Z向运动的压电平台，可实现50μm位移。它的中心具有方形通孔，适用于样品显微成像应用。
产品特点
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
XD110.Z50S |
XD110.Z50K |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1 路驱动 1 路传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
40 |
40 |
µm±10% |
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行程范围（0~150V） |
50 |
50 |
µm±10% |
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传感器 |
SGS |
- |
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分辨率 |
2 |
0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.27 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.023 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
370 |
370 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@5kg |
100 |
100 |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
5 |
5 |
kg |
| 立式安装 | 0.1 | 0.1 | ||
| 倒置安装 | 0.5 | 0.5 | ||
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阶跃时间 |
60@5kg |
10 |
ms±20% |
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静电容量 |
5.6 |
5.6 |
μF±20% |
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材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1.1 |
1.1 |
kg±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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