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XD108系列高分辨率压电纳米定位台为客户定制版压电扫描台，其可实现一维X向运动，有30μm和37μm两种行程可选。平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。内置高性能压电陶瓷，可实现最大37μm位移。
产品特点
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典型应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
XD108.30S
XD108.30K |
XD108.40S
XD108.40K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1 路驱动 1 路传感 |
1 路驱动 1 路传感 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
24 |
30 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
30 |
37 |
µm±10% |
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传感器 |
SGS/- |
SGS/- |
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分辨率 |
1/0.3 |
2/0.4 |
nm |
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闭环线性度 |
0.302/- |
0.03/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.021/- |
0.01/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
3300 |
2200 |
Hz±20% |
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带载谐振频率 |
1200@17kg |
1000@74g |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.1 |
0.1 |
kg |
| 立式安装 | 0.03 | 0.02 | ||
| 倒置安装 | 0.1 | 0.1 | ||
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阶跃时间 |
5@17g/1 |
5@74g/1 |
ms±20% |
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静电容量 |
2.5 |
3.6 |
μF±20% |
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材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
600 |
620 |
g±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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