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产品介绍
意见反馈
技术参数
编号
18130
单位
运动方向
Z
传感器
SGS
标称(@150V)
90
μm±20%
静电容量
5.4
μF±20%
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
19113
单位
运动方向
Z
标称(@150V)
500
μm±20%
静电容量
16
μF±20%
承载能力
600
g
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
20142
单位
运动方向
X、Y
标称行程范围(0~150V)
10/轴
μm±20%
空载谐振频率
≥500
Hz±20%
加载100g谐振频率
≥200
Hz±20%
静电容量
1.6/轴
μF±20%
承载能力
150
g
带载100g响应时间
≤2.5
ms±20%
材质
钢、铝
重量
250(不含线)
g±5%
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
20180
单位
运动方向
X、Y、Z
X/Y/Z标称行程范围(0~150V)
±40/±40/15
μm±20%
传感器类型
SGS
闭环分辨率
10.7(@20mV 纹波)
nm
闭环线性度
0.2
%F.S.
闭环重复定位精度
0.1
%F.S.
X/Y/Z 空载谐振频率
470/590/900
Hz±20%
X/Y/Z 加载 120g 负载谐振频率
300/340/600
Hz±20%
承载能力
500
g
加载 120g 负载阶跃时间
<30
ms±20%
X/Y/Z 静电容量
5.4/5.4/3.6
μF±20%
台体材料
钢、铝
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
20190
单位
运动方向
X、Y
标称行程范围(0~150V)
200/轴
μm±20%
空载谐振频率
160
Hz±20%
加载40kg谐振频率
30
Hz±20%
静电容量
43.2/轴
μF±20%
承载能力
40
kg
材质
钢、铝
重量
4.7
kg±10%
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
21041
单位
运动方向
Z
标称行程范围(0~150V)
80
μm±20%
外形尺寸
212x188x24.5
mm
通孔尺寸
132x156
mm
阶跃时间
50
ms±20%
静电容量
10.8/轴
μF±10%
最大承载
3
kg
材质
钢、铝
重量
0.6
kg±10%
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
21102
单位
运动方向
X、Y
标称行程范围(0~150V)
15
μm±20%
外形尺寸
65x65x12
mm
通孔尺寸
φ37
mm
闭 / 开环分辨率
5/2
nm
空载谐振频率
> 2500
Hz±20%
加载 150g 负载谐振频率
> 1000
Hz±20%
静电容量
1.6/ 轴
μF±20%
承载能力
200
g
带载响应时间(150g)
<5
ms
材质
钢
重量
<240(不含线)
g±20%
出线长
1.5
m
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
21125
单位
运动方向
Z
标称行程范围(0~120V)
200
μm±20%
行程范围(0~150V)
250
Hz±20%
传感器类型
SGS,全闭环高精度
闭环分辨率
35@20mV 纹波
nm
闭环线性度
0.25
%F.S.
闭环重复定位精度
0.15
%F.S.
空载谐振频率
240
Hz±20%
带载(2kg)谐振频率
50
Hz±20%
承载能力
2
kg
静电容量
18
μF±20%
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
22065
单位
运动方向
X、Y、Z
标称行程范围(0~150V)
200
μm±20%
传感器类型
SGS
通孔尺寸
66×66
mm
开 / 闭环分辨率
15/20
nm
闭环线性度
0.2
%F.S.
闭环重复定位精度
0.1
%F.S.
空载谐振频率
195/195/240
Hz±20%
承载能力
3
Kg
静电容量
14.4/14.4/28.8
μF±20%
材质
铝
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
22071
单位
运动方向
X、Y
标称行程范围(0~150V)
45/ 轴
μm±20%
空载谐振频率
X500/Y800
Hz±20%
带载 200g 谐振频率
X350/Y560
Hz±20%
传感器类型
SGS(全闭环)
闭环分辨率
2
nm
闭环线性度
0.2
%F.S.
闭环重复定位精度
0.1
%F.S.
静电容量
14.4/ 轴
μF±20%
负载
200
g
材质
铝
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
22078
单位
运动方向
X、Y
传感器类型
SGS(全闭环)
行程范围(0~150V)
±200/ 轴
μm±20%
标称行程范围(0~120V)
±160/ 轴
μm±20%
承载能力
1.5
kg±5%
加载 1.5kg 谐振频率
X40/Y50
Hz±20%
XY 闭环分辨率
<100
nm
静电容量
42.3/ 轴
μF±20%
重量(不含线)
<1.5
kg
材质
钢、铝
通孔尺寸
120×60
mm
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
22083
单位
运动方向
X、Y、Z
传感器类型
SGS(全闭环)
行程范围(0~150V)
XY200/Z100
μm±20%
承载能力
5
kg±5%
空载谐振频率
220
Hz±20%
开 / 闭环分辨率
2/7
nm
线性度
0.2
%F.S
重复定位精度
0.1
%F.S
静电容量
14.4/ 轴
μF±20%
重量(不含线)
<1.5
kg
材质
钢、铝
尺
寸图 (点击图片可放
大查看)
技术参数
编号
22097
单位
运动方向
X、Y、Z
传感器类型
SGS(全闭环)
行程范围(0~150V)
XY1000/Z100
μm±20%
承载能力
50
kg±5%
闭 / 开环分辨率
XY34/10,Z4/1
nm±20%
空载谐振频率
150
Hz±20%
加载 50g 谐振频率
110
Hz±20%
线性度
0.15
%F.S
重复定位精度
0.1
%F.S
静电容量
XY43.2/ 轴 , Z1.8
μF±20%
重量(不含线)
<1
kg
材质
钢、铝
尺寸图 (点击图片可放大查看)
技术参数
编号
22099
单位
运动方向
Z
传感器类型
SGS
标称行程范围(0~150V)
500
μm±20%
承载能力
200(正向)
g±5%
开环分辨率
9
nm±20%
闭环分辨率(纹波5mV下估算)
30
nm±20%
线性度
0.15
%F.S.
重复定位精度
0.1
%F.S
重量(不含线)
<1
kg±5%
静电容量
28.8
μF±20%
材质
铝合金、不锈钢
尺寸图 (点击图片可放大查看
)
技术参数
编号
22129-2
单位
运动方向
Z
传感器
SGS
标称行程范围(0~150V)
250
μm±20%
承载能力
正向 0.2/ 卧式 0.02/ 倒置 2
kg±5%
开环分辨率
3
nm±20%
闭环分辨率(纹波 5mV 下估算)
10
nm±20%
线性度
0.2
%F.S.
重复定位精度
0.15
%F.S
重量(不含线)
<0.3
kg±5%
静电容量
28.8
μF±20%
材质
铝合金、不锈钢
尺寸图 (点击图片可放大查看)
客户类别:
经销商
最终用户
客户类型:
企业
高校
研究所
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