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压电扫描台
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    技术参数
 编号 18130 单位
 运动方向 Z
 传感器 SGS
 标称（@150V） 90 μm±20%
 静电容量 5.4 μF±20%
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    技术参数
 编号 19113 单位
 运动方向 Z
 标称（@150V） 500 μm±20%
 静电容量 16 μF±20%
 承载能力 600 g
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    技术参数
 编号 20142 单位
 运动方向 X、Y
 标称行程范围（0~150V） 10/轴 μm±20%
 空载谐振频率 ≥500 Hz±20%
 加载100g谐振频率 ≥200 Hz±20%
 静电容量 1.6/轴 μF±20%
 承载能力 150 g
 带载100g响应时间 ≤2.5 ms±20%
 材质 钢、铝
 重量 250（不含线） g±5%
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    技术参数
 编号 20180 单位
 运动方向 X、Y、Z
 X/Y/Z标称行程范围（0~150V） ±40/±40/15 μm±20%
 传感器类型 SGS
 闭环分辨率 10.7（@20mV 纹波） nm
 闭环线性度 0.2 %F.S.
 闭环重复定位精度 0.1 %F.S.
 X/Y/Z 空载谐振频率 470/590/900 Hz±20%
 X/Y/Z 加载 120g 负载谐振频率
 		300/340/600 Hz±20%
 承载能力 500 g
 加载 120g 负载阶跃时间 <30 ms±20%
 X/Y/Z 静电容量 5.4/5.4/3.6 μF±20%
 台体材料 钢、铝
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    技术参数
 编号 20190 单位
 运动方向 X、Y
 标称行程范围（0~150V） 200/轴 μm±20%
 空载谐振频率 160 Hz±20%
 加载40kg谐振频率 30 Hz±20%
 静电容量 43.2/轴 μF±20%
 承载能力 40 kg
 材质 钢、铝
 重量 4.7 kg±10%
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    技术参数
 编号 21041 单位
 运动方向 Z
 标称行程范围（0~150V） 80 μm±20%
 外形尺寸 212x188x24.5 mm
 通孔尺寸 132x156 mm
 阶跃时间 50 ms±20%
 静电容量 10.8/轴 μF±10%
 最大承载 3 kg
 材质 钢、铝
 重量 0.6 kg±10%
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    技术参数
 编号 21102 单位
 运动方向 X、Y
 标称行程范围（0~150V） 15 μm±20%
 外形尺寸 65x65x12 mm
 通孔尺寸 φ37 mm
 闭 / 开环分辨率 5/2 nm
 空载谐振频率 ＞ 2500 Hz±20%
 加载 150g 负载谐振频率 ＞ 1000 Hz±20%
 静电容量 1.6/ 轴 μF±20%
 承载能力 200 g
 带载响应时间（150g） <5 ms
 材质 钢
 重量 <240（不含线） g±20%
 出线长 1.5 m
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    技术参数
 编号 21125 单位
 运动方向 Z
 标称行程范围（0~120V） 200 μm±20%
 行程范围（0~150V） 250 Hz±20%
 传感器类型 SGS，全闭环高精度
 闭环分辨率 35@20mV 纹波 nm
 闭环线性度 0.25 %F.S.
 闭环重复定位精度 0.15 %F.S.
 空载谐振频率 240 Hz±20%
 带载（2kg）谐振频率 50 Hz±20%
 承载能力 2 kg
 静电容量 18 μF±20%
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    技术参数
 编号 22065 单位
 运动方向 X、Y、Z
 标称行程范围（0~150V） 200 μm±20%
 传感器类型 SGS
 通孔尺寸 66×66 mm
 开 / 闭环分辨率 15/20 nm
 闭环线性度 0.2 %F.S.
 闭环重复定位精度 0.1 %F.S.
 空载谐振频率 195/195/240 Hz±20%
 承载能力 3 Kg
 静电容量 14.4/14.4/28.8 μF±20%
 材质 铝
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    技术参数
 编号 22071 单位
 运动方向 X、Y
 标称行程范围（0~150V） 45/ 轴 μm±20%
 空载谐振频率 X500/Y800 Hz±20%
 带载 200g 谐振频率 X350/Y560 Hz±20%
 传感器类型 SGS（全闭环）
 闭环分辨率 2 nm
 闭环线性度 0.2 %F.S.
 闭环重复定位精度 0.1 %F.S.
 静电容量 14.4/ 轴 μF±20%
 负载 200 g
 材质 铝
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    技术参数
 编号 22078 单位
 运动方向 X、Y
 传感器类型 SGS（全闭环）
 行程范围（0~150V） ±200/ 轴 μm±20%
 标称行程范围（0~120V） ±160/ 轴 μm±20%
 承载能力 1.5 kg±5%
 加载 1.5kg 谐振频率 X40/Y50 Hz±20%
 XY 闭环分辨率 <100 nm
 静电容量 42.3/ 轴 μF±20%
 重量（不含线） <1.5 kg
 材质 钢、铝
 通孔尺寸 120×60 mm
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    技术参数
 编号 22097 单位
 运动方向 X、Y、Z
 传感器类型 SGS（全闭环）
 行程范围（0~150V） XY1000/Z100 μm±20%
 承载能力 50 kg±5%
 闭 / 开环分辨率 XY34/10，Z4/1 nm±20%
 空载谐振频率 150 Hz±20%
 加载 50g 谐振频率 110 Hz±20%
 线性度 0.15 %F.S
 重复定位精度 0.1 %F.S
 静电容量 XY43.2/ 轴 , Z1.8 μF±20%
 重量（不含线） <1 kg
 材质 钢、铝
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    技术参数
 编号 22099 单位
 运动方向 Z
 传感器类型 SGS
 标称行程范围（0~150V） 500 μm±20%
 承载能力 200（正向） g±5%
 开环分辨率 9 nm±20%
 闭环分辨率（纹波5mV下估算） 30 nm±20%
 线性度 0.15 %F.S.
 重复定位精度 0.1 %F.S
 重量（不含线）  <1 kg±5%
 静电容量 28.8 μF±20%
 材质 铝合金、不锈钢
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    技术参数
 编号 22129-2 单位
 运动方向 Z
 传感器 SGS
 标称行程范围（0~150V） 250 μm±20%
 承载能力 正向 0.2/ 卧式 0.02/ 倒置 2 kg±5%
 开环分辨率 3  nm±20%
 闭环分辨率（纹波 5mV 下估算）
 		10 nm±20%
 线性度

 		0.2 %F.S.
 重复定位精度 0.15 %F.S
 重量（不含线） <0.3 kg±5%
 静电容量 28.8 μF±20%
 材质 铝合金、不锈钢
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    经销商 最终用户
  • 客户类型：
    企业 高校 研究所
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