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压电物镜定位器
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    技术参数
 编号 XD701.150S/K 单位
 运动方向 Z
 传感器 SGS或CAP
 标称行程范围(0~150V) 150 μm±20%
 开/闭环分辨率(5mV) 2/5 nm±20%
 通孔尺寸 Ø25~Ø50 mm
 承载能力 2 kg
 空载谐振频率 400 Hz±20% 
 加载 2kg 谐振频率 3.6 Hz±20%
 自重(不含线) 1.8 kg±5%
 静电容量 29 μF±20%
 材质 钢、铝
    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    技术参数
 编号 21062 单位
 运动方向 Z
 行程范围(0~150V) 7 μm±20%
 传感器类型 SGS
 通孔尺寸 Φ10 mm
 外形尺寸 Φ30×22 mm
 闭 / 开环分辨率 0.5/0.2 nm±20%
 闭环线性度 0.5 %F.S.±20%
 闭环重复定位精度 0.2 %F.S.±20%
 运动方向刚度 50 N/μm±20%
 推 / 拉力 350/20 N
 空载谐振频率 6 KHz±20%
 最大承载 500 g
 静电容量 0.8 μF±20%
 材质
    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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