型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

H81A.XYZ20S

H81A.XYZ20K

单位

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

宏动部分 - 千分尺

粗调行程范围

4

4

mm±10%

粗调精度

500

500

μm/转±10%

微动部分 - 压电

标称行程范围（0~150V）

18

18

μm±20%

传感器类型

SGS

-

闭 / 开环分辨率

1

0.2

nm

闭环线性度

0.3

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2

-

%F.S.

承载能力

1

1

kg

静电容量

1.8

1.8

μF/轴±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

1（不含线）

1（不含线）

kg±5%

驱动控制

3 路驱动，3 路传感

3 路驱动