产品特点
压电式驱动 |
小体积 |
纳米级分辨率 |
3.5 至 30mm 行程可选 |
可选闭环版本、真空版本 |
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小体积结构 |
可选真空版本 |
可选配闭环传感器 |
可选多维自由组合 |
推荐控制器 | |||||
MN压电马达类型 |
推荐控制器 |
MN压电马达类型 |
推荐控制器 |
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一维运动 |
开环 |
二、三维运动 |
开环 |
E71.C3K-J |
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闭环 |
闭环 |
E71.D3E-J |
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应用案例
低温真空 |