型号

XY72N81K13

 XYZ72SN81K13

XYZ72KN81K13

单位

运动自由度

X Y

X Y Z

X Y Z

XY 宏动行程

±5

±5

±5

mm

Z 微调行程

-

8@150V

8@150V

μm

XY 最小位移增量

<30

<30

<30

nm

Z 分辨率

-

0.3

0.1

nm

Z 微调传感器

-

SGS

-

Z 线性度

-

0.25

-

%F.S.

Z 重复定位精度

-

0.25

-

%F.S.

Z 空载谐振频率

-

2.5

2.5

kHz

承载能力

1.5

正立：500
侧放：200

正立：500
侧放：200

g

中心通孔

φ35

φ35

φ35

mm

重量

-

695

695

g

压电螺钉连接器

RJ11

RJ11

RJ11