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产品特点


 运动自由度:1~3维

 行程范围:25.4mm/轴

 最小位移增量:<30nm

 工作温度:10~40℃


X65N81K26

XY65N81K26

XYZ65N81K26

X65N81K26 标准版

X65N81E/K26-B2 运动演示

    技术参数

型号

X65N81K26

XY65N81K26

XYZ65N81K26

单位

运动自由度

X

X、Y

 X、Y、Z


行程范围

25.4

25.4/ 轴

25.4/ 轴

mm±20%

最小位移增量

<30

<30

 <30

nm

中心负载

正立

50

50

20

N

侧卧

20

20

15

N

轴承

滚珠

滚珠

 滚珠


材料


工作温度

10~40

10~40

10~40

端口

4-Pin

4-Pin

4-Pin


出线长

 2

 2

 2

m±10mm

重量

 350

 700

 1220

g±5%

压电螺钉连接器

 RJ11

RJ11

RJ11


    注:可定制闭环版本。可选真空版本。

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应用案例


笼式结构

低温真空


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