型号

N25.T6K

单位

运动自由度

θx θy

偏转角度

6/±3

°

速度

25

mrad/s±20%

镜片安装

直径12.7

mm

透光孔径

9

mm

尺寸（直径×高）

25×30.5

mm

重量

46

g±5%

承载能力

100

g

分辨率

单个步进

14

μrad±20%

1/16步进（U30控制器）

1

μrad±20%

1/64步进（F30控制器）

0.3

μrad±20%

1/2步进

7

μrad±20%

双步进

28

μrad±20%

推荐控制器

E53.C4K-H/E53.C1K-K