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N52系列直线压电马达位移台，内部采用PZT压电式驱动，行程可达90mm，高分辨率。可选配闭环伺服传感器（光栅传感器），具有更高的定位精度。
产品特点
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀E-闭环 |
N52.X90E N52.X90K |
N52.XY90E N52.XY90K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X、Y |
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集成传感器类型 |
光栅传感器/- |
光栅传感器/- |
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标称行程范围 |
90或±45 |
90或±45/轴 |
mm | |
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速度上限 |
5 |
5 |
mm/s±20% | |
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分辨率 |
10 |
10 |
nm±20% | |
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最大出力 |
3 | 3 | N | |
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双向重复定位精度 |
1/- |
1/- |
μm±20% |
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保持力 |
5 |
5 |
N |
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最大负载（水平方向） |
1 |
0.2 |
kg |
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通孔尺寸 |
95×95 |
95×95 |
mm |
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最小中空 |
50×95 |
50×50 |
mm | |
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工作温度 |
0~50 |
0~50 |
℃ |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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材质 |
铝，不锈钢 |
铝，不锈钢 |
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质量（不包含电缆） |
820/800 |
1640/1600 |
g±5% |
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推荐控制器 |
E53.D1E/C1K-J |
E53.D1E/C1K-J |
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