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N11 系列直线压电马达
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        N11系列直线压电马达位移台采用粘滑原理,将PZT压电陶瓷的微运动转为毫米级长行程。按照运动自由度,可分为X、XYXZXYZ四种规格型号。它的体积非常小巧,一维版本尺寸15×15×7mm^3,它的行程却可高达3.6mm,非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。



产品特点


 粘滑原理

 行程可达3.6mm±1.8mm/轴

 1至3维自由选择

 体积小、重量轻

 速度可达2mm/s

 断电自锁

 真空版本可选



真空版本


产品应用


 超分辨成像样品移动

 微纳装备及制造

 扫描电镜(SEM)样品操纵

 纳米聚焦与扫描

 集成电路制造与检测

 显微及纳米 CT

 大范围电子束直写(EBL)

 高真空样品精度对准及调姿

    技术参数

型号

N11.X3.5K

N11.XY3.5K

N11.XZ3.5K

N11.XYZ3.5K

单位

运动自由度

X

X、Y X、Z X、Y、Z

 

标称行程范围

3.6 或 ±1.8

3.6或±1.8/轴

3.6或±1.8/轴

3.6或±1.8/轴

mm

速度上限

2

2 2 2

mm/s

开环分辨率

20

20 20 20

nm

出力

0.5

0.5 0.5 0.5

 N

保持力(断电自锁)

1.5

1.5 1.5 1.5

N

承载能力(水平安装)

0.1

0.1 - -

kg

承载能力(立式安装)

0.02

- 0.02 0.02

kg

轴向刚度

1

0.6 0.6 0.4

N/μm±10%

侧向刚度

2

1 1 0.7

N/μm±10%

工作温度

0~50

0~50 0~50
0~50

出线长

2

2 2 2

m±10%

材质

铝,不锈钢

铝,不锈钢 铝,不锈钢
铝,不锈钢


质量(不包含电缆)

6

12 12 18

g±10%

推荐控制器

E53.C1K-J

E53.C1K-J E53.C1K-J
E53.C1K-J


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