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N91.XYZUR0K五轴压电螺钉位移台是一款可在X、Y、Z、θy、θz五个维度运动的高精度平台，直线方向可实现XY4/Z2mm的位移，角度方向可实现±4°/轴的偏转行程。该位移台搭配芯明天E53系列小体积压电马达控制器，配合精密算法，完成五轴的高精度运动控制。
产品特点
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| 技术参数 | ||
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型号 |
N91.XYZUR0K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z、θy、θz |
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XYZ行程范围 |
XY4/Z2 | mm |
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θyθz偏转角度 |
±4/轴 |
° |
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直线分辨率 |
＜30 |
nm |
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偏转分辨率 |
0.2 |
μrad |
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工作温度 |
0~40 |
℃ |
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材质 |
钢、铝 |
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承载能力（水平安装） |
1.2 |
kg |
| 重量 |
0.93 |
kg±5% |
| 电缆长度 | 1.5 | m±10mm |
| 连接器 | RJ11 |
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| 配套控制器 |
E53.C4K-H/E53.C1K-K |
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