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压电镜架运动平台是将二维偏转压电镜架和压电偏转镜相结合。压电镜架作为宏动长行程运动部分，可实现±5°偏转。压电偏转镜作为微动短行程运动部分，可实现2.5mrad偏转。宏动与微动相配合，可实现对带载镜片的高精度粗精调偏转运动控制。
产品特点
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运动自由度：θx、θy| 技术参数 | |||
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型号 |
P33S2T25N81K8 |
P33K2T25N81K8 |
单位 |
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宏动长行程偏转部分 |
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运动自由度 |
θx、θy |
θx、θy |
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调节范围 |
±5 |
±5 |
° |
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分辨率 |
0.7 |
0.7 |
μrad±20% |
| 连接器 |
RJ11 |
RJ11 |
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微动短行程偏转部分 |
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| 运动自由度 |
θx、θy |
θx、θy |
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标称偏转范围（0~100V） |
2或±1（≈±206 秒） |
2或±1（≈±206 秒） |
mrad±10% |
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偏转范围（0~120V） |
2.5或±1.25（≈±257 秒） |
2.5或±1.25（≈±257 秒） |
mrad±10% |
| 传感器 | SGS | - |
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闭/开环分辨率 |
0.05(≈0.01秒) |
0.02(<0.01秒) |
μrad |
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闭环线性度 |
0.1 | - |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.02 | - |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
3.7 | 3.7 |
kHz±20% |
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工作温度 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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材质 |
钢 |
钢 |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
