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N91.XYZTR4K系列六轴压电螺钉位移台是一款可在 X、Y、Z、θx、θy、θz六个维度运动的高精度平台，配合精密算法，可完成六轴的高精度运动控制。直线方向上可实现3mm的位移，同时可实现±2°/轴的偏转行程。它的外观很薄，非常适于集成。可搭配E53小体积压电马达控制器使用，利用上位机软件操作，更便捷。
产品特点
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运动自由度：X、Y、Z、θx、θy、θz| 技术参数 | ||
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型号 |
N91.XYZTR4K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
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XYZ行程范围 |
3/轴 |
mm |
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θxθyθz 偏转角度（0~150V） |
±2/轴 |
° |
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直线分辨率 |
＜30 |
nm |
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偏转分辨率 |
0.2 |
μrad |
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工作温度 |
0~40 |
℃ |
| 材质 |
钢、铝 |
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负载 |
1.2 | kg |
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重量 |
2 |
kg±5% |
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电缆长度 |
1.5 |
m±10mm |
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配套控制器 |
E53.C4K-H/E53.C1K-K |
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