ZT50N81K8 压电螺钉调平台是专为三轴调平而设计,它具有三个直线促动点,可通过二维 θx、θy 偏转和 Z 向升降调节载物台,它可适用多种条件下的不同应用。
产品特点
三维偏转运动 |
亚微弧度角分辨率 |
断电自锁 |
电动操作更灵活 |
产品应用
科学研究 |
实验室系统结构搭建 |
光学 |
三轴调平 |
晶圆调平 |
工业应用 |
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技术参数 | ||
型号 |
ZT50N81K8 |
单位 |
台面直径 |
160 |
mm |
运动自由度 |
θx、θy、Z |
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电动轴 |
3 |
个 |
角度范围 |
±1.5 |
° |
直线行程 |
3 |
mm |
角分辨率 |
0.3 |
μrad |
承载能力 |
2 |
kg |
促动器 |
压电螺钉促动器 |
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工作温度 |
10~40 |
℃ |
重量 |
1800 |
g±5% |
推荐控制器 |
E53.C4K-H |
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压电螺钉连接器 |
RJ11 |
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