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压电螺钉调平台
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ZT50N81K8 压电螺钉调平台是专为三轴调平而设计,它具有三个直线促动点,可通过二维 θx、θy 偏转和 Z 向升降调节载物台,它可适用多种条件下的不同应用。


产品特点


 三维偏转运动

 亚微弧度角分辨率

 断电自锁

 电动操作更灵活

产品应用


 科学研究

 实验室系统结构搭建

 光学

 三轴调平

 晶圆调平

 工业应用



    技术参数

型号

ZT50N81K8

单位

台面直径

160

mm

运动自由度

θx、θy、Z

 

电动轴

3

角度范围

±1.5

°

直线行程

3

mm

角分辨率

0.3

μrad 

承载能力

2

kg

促动器

压电螺钉促动器

 

工作温度

10~40

重量

1800

g±5%

推荐控制器

E53.C4K-H


压电螺钉连接器

RJ11


    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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