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考虑到用户在大行程运动控制下对高精度的要求，芯明天专门设计、研发了 XYZ65N81E26 压电螺钉运动平台，该平台配备了光栅传感器，对运动行程、精度等可进行精确控制，且精度可达 1.5μm。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
X65N81E26 |
XY65N81E26 |
XYZ65N81E26 |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X、Y |
X、Y、Z |
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集成传感器类型 |
光栅传感器 |
光栅传感器 |
光栅传感器 |
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标称行程范围 |
±12.5 |
±12.5/轴 |
±12.5/轴 |
mm |
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速度 |
50 |
50 |
50 |
μm/s±20% |
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闭 / 开环分辨率 |
80 |
80 |
80 |
nm±20% |
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线性度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
μm±20% |
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重复度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
μm±20% |
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承载能力 |
5 |
5 |
1.5 |
kg |
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工作温度 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
℃ |
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质量（包含电缆） |
0.4 |
1.7 |
2.6 |
kg±5% |
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材质 |
铝、钢 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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推荐控制器 |
E53.D1E |
E53.D1E |
E53.D1E |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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