产品特点
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技术参数 | ||||
型号 |
N81K13XY72 |
N81K13XY72P70S |
N81K13XY72P70K |
单位 |
运动自由度 |
X Y |
X Y Z |
X Y Z |
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XY 宏动行程 |
±5 |
±5 |
±5 |
mm |
Z 微调行程 |
- |
8@150V |
8@150V |
μm |
XY 最小位移增量 |
<30 |
<30 |
<30 |
nm |
Z 分辨率 |
- |
0.3 |
0.1 |
nm |
Z 微调传感器 |
- |
SGS |
- |
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Z 线性度 |
- |
0.25 |
- |
%F.S. |
Z 重复定位精度 |
- |
0.25 |
- |
%F.S. |
Z 空载谐振频率 |
- |
2.5 |
2.5 |
kHz |
承载能力 |
500 |
水平安装:500 |
水平安装:500 |
g |
中心通孔 |
φ35 |
φ35 |
φ35 |
mm |
重量 |
- |
695 |
695 |
g±5% |
压电螺钉连接器 |
RJ11 |
RJ11 |
RJ11 |
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应用案例
低温真空 ![]() |