技术参数 | |||
型号 |
闭环-S |
XF801-S |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
|
|
X、Y标称行程范围(0 ~+120 V) |
150 |
µm±20% |
|
Z标称行程范围(0 ~+120 V) |
80 |
µm±20% |
|
X、Y行程范围(-20~+150 V) |
210 |
µm±20% |
|
Z行程范围(-20~+150 V) |
110 |
µm±20% |
|
θx、θy标称偏摆角度(0 ~+120 V) |
±0.9/轴 |
mrad±20% |
|
θz标称偏摆角度(0 ~+120 V) |
6/轴 |
mrad±20% |
|
θx、θy偏摆角度(-20~+150 V) |
±1.1/轴 |
mrad±20% |
|
θz偏摆角度(-20~+150 V) |
8.5/轴 |
mrad±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
X、Y分辨率 |
8/5 |
nm |
|
Z分辨率 |
3.5/0.2 |
nm |
|
θx、θy分辨率 |
0.25/0.08 |
urad |
|
θz分辨率 |
0.4/0.2 |
urad |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.08/- |
%F.S. |
|
空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
|
承载 |
0.5 |
kg |
|
静电容量 |
X、Y、θx、θy:3.6 |
μF/轴±20% |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
重量 |
1.8 |
kg±5% |