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H64A.XYZTR2S/K-C系列是X、Y、Z、θx、θy、θz六轴运动压电纳米定位台，可产生六轴的超精密运动，适用于静态定位和动态调姿。该定位台内部采用并联机构设计，可实现更好动态性。其内置高性能压电陶瓷，可实现X±9/Y±9.5/Z155μm的直线位移和θxθy±1.1/θz±1mrad的偏转角度。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。
产品特点
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 承载可达12kg
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带载阶跃时间 
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配套控制器  E00.D6K04
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| 技术参数 | |||
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型号 |
H64A.XYZTR2S-C |
H64A.XYZTR2K-C |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
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驱动控制器 |
6路驱动，6路传感 |
6路驱动 |
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XYZ 标称行程范围（0~120V） |
X±7/Y±7.5/Z125 |
X±7/Y±7.5/Z125 |
μm±10% |
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XYZ Max.行程范围（0~150V） |
X±9/Y±9.5/Z155 |
X±9/Y±9.5/Z155 |
μm±10% |
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θxθyθz 轴标称偏转角度 (0~120V） |
θxθy±0.9（≈±186秒）/ θz±0.8（≈±165秒） |
θxθy±0.9（≈±186秒）/ θz±0.8（≈±165秒） |
mrad±10% |
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θxθyθz 轴Max.偏转角度 (0~150V） |
θxθy±1.1（≈±227秒）/ θz±1（≈±206秒） |
θxθy±1.1（≈±227秒）/ θz±1（≈±206秒） |
mrad±10% |
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传感器 |
SGS |
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闭/开环直线分辨率 |
X0.56/Y0.61/Z5 |
XY0.2/Z1.5 |
nm |
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闭/开环偏转分辨率 |
θxθy0.08/θz0.07（≈0.015秒） |
0.025（＜0.01秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
XZ0.05/Y0.12/θx0.04/θy0.02/θz0.03 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
XY0.04/Z0.02/θxθyθz0.02 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X562/Y630/Z338/θz380 |
X562/Y630/Z338/θz380 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@10kg |
X220/Y210/Z109/θz112 |
X220/Y210/Z109/θz112 |
Hz±20% |
| 承载能力 | 12 | 12 | kg |
| 静电容量 |
XY7.2/θxθyZ21.6/θz50 |
XY7.2/θxθyZ21.6/θz50 |
μF±20% |
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闭环阶跃时间 |
40@1Hz，1/10幅值 |
- |
ms±20% |
| 材质 |
不锈钢、铝合金 |
不锈钢、铝合金 |
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重量 |
6.45（不含线） |
6.45（不含线） |
kg±5% |
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连接器 |
DB15公头×1+DB15母头×1 |
DB15公头×1+DB15母头×1 |
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