型号

H64.XYZTR0S

H64.XYZTR0K

单位

运动自由度

X、Y、Z、θx、θy、θz

X、Y、Z、θx、θy、θz

驱动控制器

6路驱动，6路传感

6路驱动

θxθyθz 轴标称偏转角度  (0~120V）

θxθy0.32（≈66秒）/θz1.3（≈268秒）

θxθy0.32（≈66秒）/θz1.3（≈268秒）

mrad±10%

θxθyθz 轴Max.偏转角度  (0~150V）

θxθy0.4（≈83秒）/θz1.6（≈330秒）

θxθy0.4（≈83秒）/θz1.6（≈330秒）

mrad±10%

传感器

SGS

-

闭/开环直线分辨率

XY0.6/Z1.25

XY0.2/Z0.4

nm

闭环线性度

X0.053/Y0.02/Z0.084/θx0.167/θy0.1/θz0.125

-

%F.S.

闭环重复定位精度

X0.091/Y0.2/Z0.063/θxθy0.134/θz0.108

-

%F.S.

静电容量

XY6.8/θxθyZ14.2/θz62.5

XY6.8/θxθyZ14.2/θz62.5

μF±20%

承载能力

10

10

kg

空载谐振频率

XY180/Z260/θz150

XY180/Z260/θz150

Hz±20%

带载谐振频率@10kg

XY100/Z150/θz100

XY100/Z150/θz100

Hz±20%

闭环阶跃时间

XYZθxθy60/θz500

-

ms±20%

重量

9.5（不含线）

kg±5%

材质

钢、铝合金

钢、铝合金