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S20A.R1S/K-C1W为一维θz运动无磁压电旋转台，可实现±0.7mrad位移，承载可达1kg。为保证无磁，其内部结构、材质已经过特殊处理。可根据客户需求进行定制。
产品特点
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推荐控制器 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
S-闭环 |
S20A.R1S-C1W |
S20A.R1K-C1W |
单位 |
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K-开环 |
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运动自由度 |
θz |
θz |
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驱动控制 |
2路驱动，1路传感 |
2路驱动 |
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标称偏转范围（0~120V） |
±0.55（≈±114 秒） |
±0.55（≈±114 秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转范围（0~150V） |
±0.7（≈±114 秒） |
±0.7（≈±114 秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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分辨率 |
0.04（≈0.01秒） |
0.02（＜0.01秒） |
µrad |
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闭环线性度 |
0.08 |
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%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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闭环工作频率（-3dB） |
20@400g |
- |
Hz±10% |
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闭环阶跃时间 |
20@400g |
- |
ms±20% |
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静电容量 |
3.75 |
3.75 |
μF±10% |
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| 承载能力 | 1 | 1 | kg | |
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材料 |
钛合金、铝合金 |
钛合金、铝合金 |
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重量（不含线） |
1000 |
1000 |
g±5% |
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应用案例
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晶圆表面检测 
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