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H32系列压电偏摆台，可实现θx、θy偏摆及θz旋转。其内部采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高。其体积为155×155×50.5mm^3，水平安装负载可达1kg，可作为振动台用于模拟振动环境，完成精密装备的控制精度测试分析。
产品特点
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产品应用
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 干涉/计量
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
H32.TR4S |
H32.TR4K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θx、θy、θz |
θx、θy、θz |
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驱动控制 |
4路驱动，3路传感 |
4路驱动 |
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标称偏摆角度（0~120V） |
θxθy±1.85（≈382秒）/θz2.6（≈536秒） |
θxθy±1.85（≈382秒）/θz2.6（≈536秒） |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
θxθy±2.3（≈475秒）/θz3.2（≈660秒） |
θxθy±2.3（≈475秒）/θz3.2（≈660秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
θxθy0.15(≈0.03秒)/θz0.1(≈0.02秒) |
θxθy0.07(≈0.01秒)/θz0.05(≈0.01秒) |
µrad |
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闭环线性度 |
θx0.07/θy0.03/θz0.09 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
θx0.02/θy0.03/θz0.1 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
θxθy250/θz560 |
θxθy250/θz560 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@1kg |
θxθy140/θz200 |
θxθy140/θz200 |
Hz±20% |
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阶跃时间 |
30@1kg |
10 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
kg |
| 立式安装 | 0.5 | 0.5 | ||
| 倒置安装 | 0.5 | 0.5 | ||
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静电容量 |
θxθy14.4/θz10.8 |
θxθy14.4/θz10.8 |
μF±20% |
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材质 |
不锈钢、铝合金 |
不锈钢、铝合金 |
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重量（不含线） |
2240 |
2240 |
g±5% |
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