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H30系列是具有中心通孔的三维XY直线及θz轴旋转运动的压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，Ø60mm中心大通孔使其易于集成在显微及扫描等光学系统中。
产品特点
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| 技术参数 | |||
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型号 |
H30.XY100R2S |
H30.XY100R2K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、θz |
X、Y、θz |
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驱动控制 |
4路驱动，3路传感 |
4路驱动 |
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标称直线行程范围（0~120V） |
±56/轴 |
±56/轴 |
μm±10% |
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直线行程范围（0~150V） |
±70/轴 |
±70/轴 |
μm±10% |
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标称旋转角度（0~120V） |
1.6（≈330秒） |
1.6（≈330秒） |
mrad±10% |
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旋转角度（0~150V） |
2（≈413秒） |
2（≈413秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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XY向分辨率 |
6 |
2 |
nm |
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θz向分辨率 |
0.3（≈0.06秒） |
0.1（≈0.02秒） |
μrad |
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XY向线性度 |
X0.14/Y0.125 |
- |
%F.S. |
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θz向线性度 |
0.07 |
- |
%F.S. |
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XY向重复定位精度 |
X0.057/Y0.018 |
- |
%F.S. |
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θz向重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
XY450/θz330 |
XY450/θz330 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@6kg |
XY110/θz85 |
XY110/θz85 |
Hz±20% |
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静电容量 |
XY15/θz28.8 |
XY15/θz28.8 |
μF±20% |
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阶跃时间 |
150@6kg |
5 |
ms±20% |
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承载能力 |
6 |
6 |
kg |
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材质 |
铝合金 |
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重量（不含线） |
2.3 |
kg±5% |
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