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S21 系列压电旋转台为一维 θz 旋转台，产品体积小巧，旋转角度可达 7.5mrad，承载能力达 0.1kg，可带动镜片做精密旋转运动。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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闭环曲线 
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小体积、高分辨率、高精度 S21 θz一维旋转台采用机构放大设计原理，可以实现7.5mrad的旋转角度，体积小巧、结构紧凑，尺寸仅为60×60×15mm，易于集成到精密旋转设备中。 采用压电陶瓷作为驱动元件，台体采用柔性铰链机构，无摩擦、无回差，可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度，在光路精密角度调整中起着重要的作用。 |
驱动控制方式 S21为θz一维压电旋转台，单通道压电控制器即可驱动控制，闭环版本 S21配套E01系列闭环控制器，实现θz高精度旋转定位控制。 
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应用实例-精密旋转定位 S21系列压电旋转台可以与芯明天平台或倾斜台配合使用，组成多轴精密压电定位台，用于多维精密直线与旋转定位操作。 
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频率负载曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
S21.R7S |
S21.R7K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θz |
θz |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称旋转角度（0~+120V） |
6（≈1240 秒） |
6（≈1240 秒） |
mrad±10% |
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旋转角度（-20~+150V） |
7.5（≈1500 秒） |
7.5（≈1500 秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
0.2（≈0.04秒） |
0.1（≈0.02秒） |
µrad |
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闭环线性度 |
0.5 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
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推/拉力 |
10/5 |
10/5 |
N |
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运动方向刚度 |
1 |
1 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
1.1 |
1.1 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
30 |
1.5 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.1 |
0.1 |
kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
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其他 |
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材质 |
铝 |
铝 |
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重量 |
105 |
105 |
g±5% |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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晶圆表面检测 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
