S20 一维θz向压电旋转台 0.5mrad当前位置:产品首页 >> 压电旋转台>>S20 一维θz向压电旋转台 0.5mrad
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压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。


S20系列压电旋转台为一维θz旋转台,中心透空孔直径20mm,产品体积小巧,旋转角度可达0.5mrad,重复定位精度达0.2%F.S.,可带动镜片做精密旋转运动。


产品特点


 θz旋转,旋转角度可达0.5mrad

 通孔直径:Ø20mm

 闭环定位精度高

 响应速度快

 体积小巧

 适于加速度 / 角速度传感器标定

 

 


外观形状

闭环曲线

频率负载曲线

大承载、高精度、高频率

S20为一维θz高精度旋转平台,旋转轴位于正中心,中心通孔用于透射光应用,采用有限元分析对微结构进行优化,满足动态性以及平面导向精度。
      平台内部采用高可靠性压电陶瓷作为驱动元件,台体采用的柔性铰链机构具有无摩擦无回弹等特点,使其具有高的分辨率以及可靠性。
      旋转台面固定安装孔便于与其他台体机构集成配套,也可根据用户的需求进行OEM定制。

阶跃时间短

S20系列压电旋转台行程阶跃时间约0.7ms。


产品应用


 光路调整

 光学

 激光扫描

 通信

 干涉/计量等

 光线偏转

 干涉/计量


    技术参数

型号

尾缀S-闭环

S20.R0S

S20.R0K

单位

尾缀K-开环

 运动自由度

θz

θz

 

 驱动控制

1路驱动,1路传感 1路驱动

 标称旋转角度(0~+120V

0.4(≈80 秒)

0.4(≈80 秒)

mrad±20%

 旋转角度(0~150V

0.5(≈100 秒)

0.5(≈100 秒)

mrad±20%

 传感器类型

SGS

-

 

 分辨率

0.25(≈0.5 秒)

0.05(≈0.01 秒)

µrad

 闭环线性度

0.5

-

%F.S.

 闭环重复定位精度

0.2

-

%F.S.

 机械性能

 /拉力

50/10

50/10

N

 运动方向刚度

5

5

N/µm±20%

 空载谐振频率

3.5

3.5

kHz±20%

 空载阶跃时间

8

0.7

ms±20%

 承载能力

4

4

kg

 驱动性能

 静电容量

1.6

1.6

μF±20%

 其他

 工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

 材质

 

 外形尺寸,(外径-内径)×高

(50-20)×20

(50-20)×20

mm

 重量

140

140

g±5%

 出线长

1.5

1.5

m±10mm

 传感/电压连接器***

LEMO

LEMO

** 可定制低温版本及高真空版本。 

*** 连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


晶圆表面检测


晶圆表面检测


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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