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S54A系列压电偏摆台可实现θx、θy二维偏摆运动，偏摆角度可达±1.5mrad/轴。中心具有φ112mm通孔，负载可达1kg，可带载φ140mm×23mm镜片进行二维运动。该偏摆台进行了特殊的设计和选材以适应特殊的工作环境，可实现在低温环境下正常工作，并经过了非常严格的力学试验，如抗力学振动试验、冲击振动和随机振动试验等。
产品特点
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 真空版可选
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配套控制器  |
接口说明  |
| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀 S- 闭环 |
S54A.T3S112 |
S54A.T3K112 |
单位 |
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运动自由度 |
θx，θy |
θx，θy |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
3路驱动 |
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标称偏摆角度（0~120V） |
±1.2/轴（≈±248秒） |
±1.2/轴（≈±248秒） |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
±1.5/轴（≈±309秒） |
±1.5/轴（≈±309秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
φ112 |
φ112 |
mm | |
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闭/开环偏摆分辨率 |
0.6（≈0.12秒） |
0.2（≈0.04秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
θx0.3/θy1.2 |
- |
μrad |
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闭环重复定位精度 |
θx0.2/θy0.6 |
- |
μrad |
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空载谐振频率 |
460 |
460 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@1kg |
310 |
310 |
Hz±20% |
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阶跃时间 |
5ms@50μrad，1kg |
2 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
- |
- |
kg |
| 立式安装 | 1 | 1 | ||
| 倒置安装 | - | - | ||
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静电容量 |
28.8/轴 |
28.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
不锈钢、铝合金 |
不锈钢、铝合金 |
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重量 |
6.2（含线） |
6.2（含线） |
kg±5% |
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