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S21.R3S 压电旋转台是一维 θz 运动的压电纳米定位台，它的外形 结构紧凑，非常易于集成。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
S21.R3S |
S21.R3K |
单位 |
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运动自由度 |
θz |
θz |
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传感器类型 |
SGS |
- |
mrad±20% |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
2.4 |
2.4 |
mrad±20% |
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行程范围（0~150V） |
3 |
3 |
%F.S. |
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分辨率 |
0.3 |
0.3 |
μrad |
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闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
700 |
700 |
Hz±20% |
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带载 0.5kg 谐频 |
120 |
120 |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.5 |
0.5 |
kg |
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静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量（不含线） |
1630 |
1630 |
g±5% |
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应用案例
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晶圆表面检测 
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