S50.UR0C/KA 系列压电偏摆台是专为大负载应用而设计,承载可达 5kg。它的闭环版本是采用电容式反馈传感器,空载谐振频率可达 1kHz。
产品特点
θx θz 二维偏转 |
大承载能力 |
高频率 |
可选配电容式闭环传感器 |
产品应用
光束扫描 |
大负载运动实验 |
干涉/计量 |
空间扰动模拟系统 |
振动实验 |
科研 |
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技术参数 | |||
型号 |
S50.UR0CA |
S50.UR0KA |
单位 |
运动方向 |
θx、θz |
θx、θz |
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驱动控制 |
3路驱动,2路传感 |
3路驱动 |
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标称直线行程范围(0 ~120V) |
0.24/ 轴 |
0.24/ 轴 |
mrad±10% |
行程范围(0~150V) |
0.3/ 轴 |
0.3/ 轴 |
mrad±10% |
传感器类型 |
CAP |
- |
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闭 / 开环分辨率 |
0.02 |
0.01 |
μrad |
闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
θx、θy重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
1000 |
1000 |
Hz±20% |
最大承载 |
10 |
10 |
kg |
静电容量 |
14.4/轴 |
14.4/轴 |
μF±20% |
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
9.5 |
9.5 |
kg±5% |
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应用案例
晶圆表面检测 |