S50.UR1S/K 系列压电偏摆台当前位置:产品首页 >> 压电偏摆台>>S50.UR1S/K 系列压电偏摆台
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产品特点


 二维 θx θz 偏摆

 承载能力达 20kg

 分辨率达 0.03μrad

 重量9.5kg

    技术参数

型号

S50.UR1S

S50.UR1K

单位

运动自由度

θx θz

θx θz

驱动控制

3 路驱动,2路传感

3 路驱动

标称行程范围(0~120V)

1/轴

1/轴

mrad±10%

行程范围(0~150V)

1.3/轴

1.3/轴

mrad±10%

传感器

SGS

-

分辨率

0.03

0.03

μrad

线性度

0.2

-

%F.S.

重复定位精度

0.07

-

%F.S.

空载谐振频率

604/726

604/726

Hz±20%

加载20kg谐频

68/155

68/155

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

50

20

ms±20%

承载能力

20

20

kg

静电容量

36/44.3

36/44.3

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

9.5

9.5

kg±5%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


晶圆表面检测


晶圆表面检测


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