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S31系列为二维θx、θy压电偏转镜，有3.8mrad和8.5mrad两种量程可选；其闭环版本内部传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得可实现较高的线性度与重复度。
产品特点
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| 技术参数 | |||
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型号 |
S31.T2S
S31.T2K
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S31.T4S
S31.T4K
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单位 |
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运动自由度 |
θx、θy |
θx、θy |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
3路驱动，2路传感 |
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标称偏转角度（0~120V） |
3/±1.5（≈±309秒） |
6.8/±3.4（≈±700秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转角度（0~150V） |
3.8/±1.9（≈±392秒） |
8.5/±4.25（≈±877秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
0.5（≈0.1秒）/0.05（≈0.01秒） |
0.5（≈0.1秒）/0.1（≈0.02秒） |
μrad |
| 线性度 |
0.5/- |
0.5/- |
%F.S. |
| 重复定位精度 |
0.5/- |
0.3/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
12 |
11.5 |
KHz±20% |
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带载谐振频率（负载Φ12.7×3mm 镜片） |
9 |
9 |
KHz±20% |
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静电容量 |
1.6/轴 |
3.2/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、钛合金 |
钢、钛合金 |
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重量（包含线及连接器） |
115 |
148 |
g±5% |
