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技术参数
编号		P13.XYZ180K	单位
运动方向		X、Y、Z
常温行程范围（0~60V）		180	μm±20%
低温 4K 下行程（0~150V）		80	μm±20%
分辨率		5	nm
承载能力	水平安装	0.1	kg
	立式安装	0.05
	倒置安装	0.05
空载谐振频率		100	Hz±20%
自重（不含线）		300	g±5%
静电容量		12.3/ 轴	μF±20%

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技术参数
编号	20059	单位
运动方向	Z
标称行程范围（0~120V）	800	μm±20%
行程范围（0~150V）	1000	μm±20%
传感器类型	CAP 电容式
闭环分辨率	27	nm（5mV 纹波下）
开环分辨率	8	nm
闭环线性度	0.1	%F.S.±20%
重复定位精度	0.02	%F.S.±20%
承载能力	700	g
静电容量	58	μF±20%

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技术参数
编号	20090	单位
运动方向	X Y
标称行程范围	30	μm/轴 ±20%
驱动电压	0~150	V
带载 2kg 谐频	180	Hz±20%
静电容量	14.5	μF/ 轴 ±20%
承载能力	2	kg
台体材料	铝
台体重量（不含线）	5.3	kg±5%

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技术参数
编号	20100	单位
运动自由度	X Y Z
XY 标称行程范围（0~150V）	400	μm/轴 ±20%
Z 标称行程范围（0~150V）	100	μm±20％
X、Y 静电容量	10.8	μF/ 轴 ±20％
Z 静电容量	3.6	μF±20％

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技术参数
编号	20136-100μm	单位
运动自由度	X Z
X 向标称行程范围	±50	μm±20%
Z 向标称行程范围	100	μm±20%
驱动电压	0~150	V
传感器类型	SGS，全闭环
承载能力	10	kg

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技术参数
编号	21001	单位
运动自由度	X、Y、Z
标称行程范围（0~150V）	20/ 轴	μm±20%
传感器类型	SGS
开环分辨率	1	nm
闭环重复定位精度	20	%F.S.
X/Y/Z 静电容量	13.2/ 轴	μF±20%
承载能力	5	kg
台体材料	铝、钢

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技术参数
编号	21009	单位
运动自由度	X、Z
标称行程范围（0~150V）	200/ 轴	μm±20%
传感器类型	SGS
外形尺寸	150×150×39	mm
闭 / 开环分辨率	20/10	nm
闭环线性度	0.25	%F.S.±20%
闭环重复定位精度	0.15	%F.S.±20%
俯仰 / 偏航 / 滚动	<60	μrad±20%
空载谐振频率	250	Hz±20%
带载 3kg 谐振频率	70	Hz±20%
加载 3kg 使用频率	5	Hz
带载 3kg 阶跃时间	80	ms±20%
承载能力	3	kg
静电容量	21.6/28.8	μF±20%
台体材料	钢、铝

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技术参数
编号	21136	单位
运动方向	X
标称行程范围（0~120V）	±40	μm±20%
行程范围（0~150V）	±50	μm±20%
传感器类型	SGS
闭环线性度	0.1	%F.S.±20%
闭环重复定位精度	0.05	%F.S.±20%
工作温度	0~+80	℃
承载能力	2	kg
静电容量	7.2	μF±20%
台体材料	钢、铝

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技术参数
编号	21147	单位
运动自由度	X Y Z
标称行程范围（0~120V）	400/轴	μm±20%
行程范围（0~150V）	500/轴	μm±20%
传感器类型	SGS
闭环线性度	0.3	%F.S.±20%
闭环重复定位精度	0.15	%F.S.±20%
闭环分辨率	70@20mV纹波	nm
承载能力	100	g
静电容量	21.6/轴	μF±20%
台体材料	钢、铝

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技术参数
编号	21210	单位
运动自由度	X
标称行程范围（0~150V）	250	μm±20%
传感器类型	SGS，全闭环高精度
空载谐振频率	260	Hz±20%
闭环分辨率	42@20mV纹波	nm
承载能力	0.3	kg
静电容量	7.2	μF±20%
台体材料	钢、铝

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技术参数
编号	22025	单位
运动自由度	Z
标称行程范围（0~120V）	80	μm±20%
行程范围（0~150V）	100	μm±20%
传感器类型	SGS，全闭环
空载谐振频率	680	Hz±20%
开/闭环分辨率	1/4	nm±20%
加载5kg谐振频率	80	Hz±20%
线性度	0.2	%F.S.
重复定位精度	0.1	%F.S.
重量（不含线）	<0.6	kg±5%
承载能力	5	kg
静电容量	21.6	μF±20%
台体材料	不锈钢、铝合金

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安装方向	水平安装	立式安装	倒置安装
释义	将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT 平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向	将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载	将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
示意图
备注	当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口

客户类别：
经销商最终用户
客户类型：
企业高校研究所
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