如何解决压电平台行程小的问题？什么是压电宏微复合平台？什么是压电千分尺？

更新时间：2020-04-26 14:37:32点击次数：2633次

对于打算利用压电平台进行高精度调节的一些用户，在了解到压电平台的纳米级高精度时，第一时间是一种“求之心切”的心态，想立刻将它集成到自己的系统里，然而在得知压电平台的微米级运动范围时又“望而却步”。

针对这种想用而又却步的使用者，芯明天公司专门设计了压电宏微复合平台，这种平台既得到了压电平台的纳米级高精度，又拥有了几十毫米甚至米级的运动范围！

注：分辨率的数值越低，分辨率越高。

压电宏微复合平台组成介绍

压电宏微复合平台是将压电平台与手调或其他电动平移台相结合，且该结合不会损失压电平台的高分辨率。利用手调平移台的压电宏微复合平台，一般手调行程为13mm，且它的分辨率达10μm，在压电平台精调行程范围内。在手动进行粗调后，再利用压电平台进行纳米级的精调。

如上图所示，压电宏微复合平台由压电平台、千分尺（或其他电动调节台）及移动台面组成，看似简单的结构，然而在设计、生产制造及装配时却有着非常高的难度。压电平台必须与千分尺及移动台面完美的结合，任何一处细节，都要考虑周全，即使只是一处的螺丝。

压电宏微复合平台的运动自由度在1至3维间自由选择，组合式结构使其在三维运动时轴间无耦合。

芯明天具有两种标准压电宏微复合平台，分别为P83、P84系列，两者粗调行程相同，都为13mm，精调行程分别为25μm和100μm，下图为芯明天P83系列，P84系列与P83系列外形近似。

参数、尺寸、外形皆可定制

芯明天标准品压电宏微复合平台中粗调行程标准为13mm，压电精调行程为25μm或100μm可选。而对于压电宏微复合平台的参数等“别有他求”时，是可通过定制来得到的，例如宏动粗调平台的尺寸、外形、参数，以及压电平台的尺寸、外形、参数等，皆可定制。

下图中为定制型压电宏微复合平台，采用压电平台与电机平台相结合，未使用千分尺。它是XY二维运动，每轴的粗调行程达50mm/轴以上，精调行程68μm/轴。

下图是又一款定制型压电宏微复合平台，它是采用Z向运动压电平台与XY手调平台相结合，Z向压电行程达260μm以上，并且中心具有通孔。在完成XY手动调节位置后，可进行Z向的高精度位置调节，非常适用于显微成像等场景。

压电千分尺

而压电千分尺是没有移动台面的压电宏微复合平台，对于一些用户，已经有自己的移动台面，只需压电千分尺这种宏微致动的促动器，对于这种需求，就可以直接选择芯明天的压电千分尺，并且可定制设计接口。

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