特点
01
行程范围18μm
02
满行程下,使用频率可达95Hz
03
负载能力300g
高刚度
技术参数
型号:FTS20
行程:18μm@95Hz
9μm@190Hz
1μm@600Hz
传感器:SGS
线性度:0.1%F.S.
重复定位精度:15nm
负载:300g
刚度:120N/μm
空载谐振频率:4000Hz
驱动电压范围:0~150V
外形尺寸:L110×W95×H42mm
重量:2100g
工作温度:-20~80℃
出线长:1.5m