S23.ZT0S/K25小体积三维压电偏转镜
产品特点
θx、θy偏转，Z轴升降
偏摆位移可达±0.5mrad/轴
直线位移可达20.5μm
空载谐振频率可达4.2kHz
中心通孔φ25.4mm
典型应用
航空航天
卫星激光通信
注：图片来源于网络
精密加工
激光加工
注：图片来源于网络
显微成像
超分辨显微成像
注：图片来源于网络
技术参数
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型号 |
S23.ZT0S/K25 |
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运动自由度 |
θx、θy、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感/3路驱动 |
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标称直线行程范围（0~120V） |
16.5μm |
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Max.直线行程范围（0~150V） |
20.5μm |
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标称偏摆角度（0~120V） |
±0.4mrad/轴（≈±82秒） |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
±0.5mrad/轴（≈±103秒） |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔 |
25.4mm |
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直线分辨率 |
1nm/0.5nm |
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偏摆分辨率 |
0.03μrad（<0.01 秒）/0.01μrad（<0.01 秒） |
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闭环重复定位精度 |
θx0.03%F.S./θy0.06%F.S. |
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空载谐振频率 |
4.2kHz |
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带载谐振频率@50g |
θxθy3.7kHz/Z2.3kHz |
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承载能力 |
50g |
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静电容量 |
2μF/轴 |
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阶跃时间 |
10ms@50g，满幅值 |
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材质 |
钢 |
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出线长 |
1.5m |
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重量 |
250g |
配套控制器
更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888（微信同号）！
