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N18系列小体积直线压电马达位移台 - 低温、无磁、真空兼容！

更新时间：2025-04-17 10:28:58点击次数：1038次



在科技高速迭代的今天，各行业对精密运动控制的追求不断攀升，从前沿的半导体制造领域，到关乎生命健康的生物医疗领域，从探索宇宙奥秘的航空航天领域，到日常的智能电子设备，高精度、高可靠性的直线运动驱动需求无处不在。直线压电马达位移台以其大行程、高精度和快速的响应速度等性能优势，成为推动众多行业迈向新高度的核心力量。



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芯明天部分直线压电马达位移台

N18系列小体积直线压电马达位移台- 低温、无磁、真空兼容！


N18系列压电马达位移台为直线运动平台，内置高性能压电陶瓷，利用粘滑原理驱动，通过特殊结构设计，将压电陶瓷的直线微位移，转换为宏动直线毫米行程，实现高精度定位。位移方向可选X向和Z向两种运动方式，行程可达5mm，分辨率可达6nm，速度可达3mm/s，可在低温、真空、无磁的应用环境中使用。小体积设计，便于部署与集成，为设备小型化、集成化发展注入强劲动力。产品外观如下图所示。

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产品特点

运动自由度：X或Z
行程可达5mm
低温、真空、无磁
粘滑原理驱动
工作温度范围：-40~50℃
断电自锁

典型应用

半导体—光刻机掩模台定位、晶圆加工检测、激光直写等，精度决定良率！

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注：图片来源于网络

生物医疗—超分辨率显微成像、细胞操作、纳升配药等，精准掌控生命科学！

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注：图片来源于网络

精密光学—光学干涉、光路调整、激光加工等，让光学系统更稳定！

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注：图片来源于网络

航空航天—卫星激光通信、天文望远镜、稳像等，保障关键任务执行！

注：图片来源于网络

技术参数

型号
N18.X5K
N18.Z5K
运动自由度
X
Z
标称行程范围
5mm或±2.5mm
速度上限
3mm/s
分辨率
6nm
推/拉力
3N
保持力 ( 断电自锁）
3N
承载能力
水平安装
250g
150g
加载后
速度上限
水平安装
3mm/s@250g
2mm/s@150g
工作温度
-40℃~50℃
出线长
1.5m
材质
钛
重量
19g
40g

配套控制器

E53.C1K-J压电控制器非常适用于驱动N18系列压电马达位移台，它是单通道开环压电控制器，采用数字控制，24VDC供电，静态功耗小于5W，通信接口为TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸仅105×103×30.1mm^3，外观体积小巧，结构紧凑，易于集成。

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更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888（微信同号）！

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